Ключові слова
нанотехнології, напівпровідникові матеріали, мікросхеми, легуючі компоненти у монокристалах, епітаксійний шар, методи спрямованої кристалізації, метод Чохральського, гравітаційна конвекція
DOI
https://doi.org/10.31649/2413-4503-2023-18-2-25-31