Лариса Дегтярова

Кандидат технічних наук, доцент 

Полтавський державний аграрний університет

36003, вул. Сковороди, 1/3, м. Полтава, Україна

 

 

Дослідження розподілу кисню по довжині монокристалів кремнію, легованих компонентами з різним типом провідності

28.11.2023

Анна Буланкіна, Лариса Дегтярова
  • Ключові слова нанотехнології, напівпровідникові матеріали, мікросхеми, легуючі компоненти у монокристалах, епітаксійний шар, методи спрямованої кристалізації, метод Чохральського, гравітаційна конвекція
  • DOI https://doi.org/10.31649/2413-4503-2023-18-2-25-31